Aufbau und Herstellungsprozess
Dünnschicht-DMS
Vom Substrat zur Sensorschicht: Erfahren Sie, wie Dünnschicht-DMS aufgebaut und mit höchster Präzision gefertigt werden.
Die Widerstände der Messbrücke werden auf das Metallsubstrat gesputtert:
Es entsteht eine dauerhafte Bindung auf atomarem Level.
Schichtaufbau und Präzisionsfertigung im Detail
Was Dünnschicht-DMS besonders macht
- Hohe Platzersparnis: Miniaturisierung bis in den Bereich von 4 x 4 mm
- Skalierbarkeit: Aufgrund des hohen Automatisierungsgrads
- Hohe Langzeitstabilität
- Keine Kriecheffekte: Weil eine Verbindung auf atomarem Level zwischen Substrat und Funktionsschicht hergestellt wird
- Batteriebetriebene Anwendungen: Sind durch den hohen Brückenwiderstand ideal umsetzbar
- Leicht zu Integrieren: Grosse Geometrieflexibilität bei geringer Sensorgrösse
Produktionsprozess
Start ab blankem Metallsubstrat
Laserschneiden
Reinigen und Polieren
Sputtern der Isolationsschicht
Sputtern von Metallschichten
Strukturieren mittels Fotolithografie
Laserstrukturieren
Bedrahten und Schützen
Kundenspezifische Anwendung
Sie benötigen einen Sensor für eine konkrete Anwendung?
Von der Technologieauswahl über die mechanische Anbindung bis zur Signalauswertung: Entwickeln Sie eine kundenspezifische Sensorlösung, die zu Bauraum, Messbereich und Umgebung passt.